如何選用石英晶振監(jiān)控片
隨著經(jīng)濟(jì)的發(fā)展和社會(huì)生活水平的提高,真空鍍膜技術(shù)在越來(lái)越多的領(lǐng)域使用,如何監(jiān)控淀積的膜厚,目前采用石英晶振監(jiān)控法和光學(xué)膜厚監(jiān)控法,經(jīng)多年來(lái)致力于石英晶體振蕩監(jiān)控法的核心部件晶振片研究、生產(chǎn),并總結(jié)了一些經(jīng)驗(yàn)與同仁共同控討。 原理 石英晶振法監(jiān)控膜厚,主要是利用了石英晶體的壓電效應(yīng)和質(zhì)量負(fù)荷效……
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