發(fā)布日期：2019-12-31
石英晶振,以其崇高頻率鞏固度、高Q值、高振蕩頻率及體積精巧等特色,在軍事、通信、電腦、家用電器及種種產(chǎn)業(yè)電子裝備中獲得了寬泛的運用。跟著科學技術的接續(xù)開展,對石英晶振諧振器切確度的請求越來越高,切確調(diào)治石英晶振諧振器的頻率,是國表里鉆研和制造中的熱門疑問。 本文索求性鉆研了一種新鮮的頻率微調(diào)技術——激光刻蝕微調(diào)。論文從激光刻蝕機制、刻蝕工藝等方面深刻鉆研了激光刻蝕微調(diào)技術,并對若何應答和削減刻蝕毀傷、完成家當化運用提出了計劃。 論文事情獲得的要緊鉆研功效有: 1.提出并完成了激光減薄和激光刻蝕圖形兩種激光刻蝕技巧對石英晶振諧振器件舉行頻率微調(diào)。鉆研后果評釋,這兩種激光刻蝕技術都能夠用來切確微調(diào)石英晶振器的頻率,此中激光刻蝕圖形技巧更有益于家當化運用。這一鉆研事情在國外上還未見報道。 2.經(jīng)歷對激光刻蝕毀傷的機理的鉆研,并連結(jié)試驗鉆研,提出了四變量技巧,即大氣情況、真空情況、激光減薄和激光刻蝕圖形,相配因而影響激光頻率微調(diào)后果的四個互相自力的自變量,而非常終的刻蝕量即是方程的因變量。鉆研評釋,在每一種詳細的事情情況下,運轉(zhuǎn)每一種詳細的刻蝕技術時,都找到了激光電流、激光頻率和Q脈沖寬度三個參數(shù)與微調(diào)后果的干系;關于不變的石英晶片三個參數(shù)均存在一個毀傷域值,當跨越此域值時就會對晶片發(fā)生毀傷,同時,關于大氣情況和真空情況,域值也有所差別。經(jīng)歷試驗鉆研找出了非常大的無毀傷刻蝕調(diào)治量為:激光減薄工藝真空中非常大的無毀傷調(diào)治量為500ppm擺布,大氣中為100ppm擺布。激光刻蝕圖形工藝則可達2000ppm以上。這為激光刻蝕調(diào)頻技術的運用供應了有代價的工藝參數(shù)。 3.在上述鉆研的底子上,進一步探究了激光刻蝕工藝的家當化疑問以及在其余平臺的運用,提出了多晶片同時微調(diào)、多圖形微調(diào)等計劃,提出了石英晶振片頻率微調(diào)體系整體計劃,并對激光頻率微調(diào)技術的開展趨向舉行了展望性說明。