發(fā)布日期：2019-12-27
隨著經(jīng)濟的發(fā)展和社會生活水平的提高,真空鍍膜技術在越來越多的領域使用,如何監(jiān)控淀積的膜厚,目前采用石英晶振監(jiān)控法和光學膜厚監(jiān)控法,經(jīng)多年來致力于石英晶體振蕩監(jiān)控法的核心部件晶振片研究、生產(chǎn),并總結了一些經(jīng)驗與同仁共同控討。
原理
石英晶振法監(jiān)控膜厚,主要是利用了石英晶體的壓電效應和質量負荷效應。當晶振片上鍍了某種膜層,使晶振片的厚度增加,則晶振片的固有頻率會相應的變化。
顯然晶體的基頻越高,控制的靈敏度也越髙,但基頻過髙時,晶體片會儆得很薄,很薄的晶體片易碎,一般選用AT切型頻率5~10MHz。采用AT切晶體片,其振動頻率對質量的變化極其靈敏,但卻不敏感于溫度的變化,具有精度高、靈敏度好等獨特的優(yōu)勢,非常適合于真空薄膜淀積中的膜厚監(jiān)控。
電極材料
晶振片的電極對膜厚監(jiān)控至關重要,目前市場上提供三種標準電極材料:金、銀和合金用戶所鍍的材料不同,需選用不同的電極材料產(chǎn)品。
金:是最廣泛使用的傳統(tǒng)材料,它具有低接觸電阻,高化學溫定性,易于沉積。適合于鍍低應力膜料,如鍍Al、Au、Ag、Cu等。
銀:適合于鍍高應力膜料,如Ni、Cr、Mo、Zr、Ni-Cr、Ti、不銹鋼等。
銀鋁合金:適合于鍍介質光學膜,MgF2、Si02、Al203、TiO2等膜料。
為了提高石英晶振的穩(wěn)定性,增加電極膜與石英晶片的附著強度,根據(jù)經(jīng)驗總結在鍍電極(Cr)效果更好。
又硏制出金銀合金電極膜代替鍍金電極膜,驗證結果在使用性能不變的情況下比金電極膜使用壽命更長。