Release date:2019-12-31
石英晶振,以其崇高頻率鞏固度、高Q值、高振蕩頻率及體積精巧等特色,在軍事、通信、電腦、家用電器及種種產(chǎn)業(yè)電子裝備中獲得了寬泛的運(yùn)用。跟著科學(xué)技術(shù)的接續(xù)開(kāi)展,對(duì)石英晶振諧振器切確度的請(qǐng)求越來(lái)越高,切確調(diào)治石英晶振諧振器的頻率,是國(guó)表里鉆研和制造中的熱門疑問(wèn)。 本文索求性鉆研了一種新鮮的頻率微調(diào)技術(shù)——激光刻蝕微調(diào)。論文從激光刻蝕機(jī)制、刻蝕工藝等方面深刻鉆研了激光刻蝕微調(diào)技術(shù),并對(duì)若何應(yīng)答和削減刻蝕毀傷、完成家當(dāng)化運(yùn)用提出了計(jì)劃。 論文事情獲得的要緊鉆研功效有: 1.提出并完成了激光減薄和激光刻蝕圖形兩種激光刻蝕技巧對(duì)石英晶振諧振器件舉行頻率微調(diào)。鉆研后果評(píng)釋,這兩種激光刻蝕技術(shù)都能夠用來(lái)切確微調(diào)石英晶振器的頻率,此中激光刻蝕圖形技巧更有益于家當(dāng)化運(yùn)用。這一鉆研事情在國(guó)外上還未見(jiàn)報(bào)道。 2.經(jīng)歷對(duì)激光刻蝕毀傷的機(jī)理的鉆研,并連結(jié)試驗(yàn)鉆研,提出了四變量技巧,即大氣情況、真空情況、激光減薄和激光刻蝕圖形,相配因而影響激光頻率微調(diào)后果的四個(gè)互相自力的自變量,而非常終的刻蝕量即是方程的因變量。鉆研評(píng)釋,在每一種詳細(xì)的事情情況下,運(yùn)轉(zhuǎn)每一種詳細(xì)的刻蝕技術(shù)時(shí),都找到了激光電流、激光頻率和Q脈沖寬度三個(gè)參數(shù)與微調(diào)后果的干系;關(guān)于不變的石英晶片三個(gè)參數(shù)均存在一個(gè)毀傷域值,當(dāng)跨越此域值時(shí)就會(huì)對(duì)晶片發(fā)生毀傷,同時(shí),關(guān)于大氣情況和真空情況,域值也有所差別。經(jīng)歷試驗(yàn)鉆研找出了非常大的無(wú)毀傷刻蝕調(diào)治量為:激光減薄工藝真空中非常大的無(wú)毀傷調(diào)治量為500ppm擺布,大氣中為100ppm擺布。激光刻蝕圖形工藝則可達(dá)2000ppm以上。這為激光刻蝕調(diào)頻技術(shù)的運(yùn)用供應(yīng)了有代價(jià)的工藝參數(shù)。 3.在上述鉆研的底子上,進(jìn)一步探究了激光刻蝕工藝的家當(dāng)化疑問(wèn)以及在其余平臺(tái)的運(yùn)用,提出了多晶片同時(shí)微調(diào)、多圖形微調(diào)等計(jì)劃,提出了石英晶振片頻率微調(diào)體系整體計(jì)劃,并對(duì)激光頻率微調(diào)技術(shù)的開(kāi)展趨向舉行了展望性說(shuō)明。